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華海清科成功交付首臺12英寸封裝減薄貼膜一體機(jī)

來源：中國能源新聞網(wǎng) 時(shí)間：2024-06-17 14:42

　　中國能源新聞網(wǎng)訊（李鑫）6月12日，四川能投華海清科股份有限公司（以下簡稱“華海清科”）首臺12英寸封裝減薄貼膜一體機(jī)Versatile–GM300出機(jī)發(fā)往國內(nèi)頭部封測企業(yè)，此產(chǎn)品是繼成功推出量產(chǎn)機(jī)型減薄拋光一體機(jī)（Versatile–GP300）之后，華海清科再次在先進(jìn)封裝領(lǐng)域推出的關(guān)鍵核心產(chǎn)品Versatile–GM300，為公司業(yè)務(wù)多元化增長注入新動能。

　　封裝減薄貼膜一體化設(shè)備Versatile–GM300，全機(jī)采用新型布局，可靈活實(shí)現(xiàn)薄型晶圓背面超精密研削與干式拋光應(yīng)力去除功能，搭配晶圓貼膜機(jī)聯(lián)機(jī)使用，可為8/12英寸晶圓安全可靠地提供從精密減薄、清洗干燥到粘貼料環(huán)、背膜剝離的全流程自動作業(yè)，滿足高端封裝領(lǐng)域的薄型晶圓生產(chǎn)工藝技術(shù)需求。

　　Versatile–GM300超精密晶圓減薄機(jī)，在技術(shù)上突破了超薄片減薄工藝技術(shù)壁壘，依托先進(jìn)的厚度均勻性控制技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)片內(nèi)均勻性TTV<1.0μm，達(dá)到了國內(nèi)領(lǐng)先和國際先進(jìn)水平。此外，該產(chǎn)品具有高精度、高剛性、工藝開發(fā)高靈活性等優(yōu)點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于封裝領(lǐng)域中的晶圓背面減薄、BG/DC倒膜等工藝。本次12英寸封裝減薄貼膜一體機(jī)Versatile–GM300的交付將顯著增強(qiáng)華海清科在封裝設(shè)備市場的競爭力，并鞏固其行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)地位。

　　責(zé)任編輯：楊娜